(画像をクリックすると拡大されます。)

上の写真はTi/AUガラスのAFM写真です。
室温で金の薄膜を作ると、多結晶の金は111の配向性のためこの様に凸凹状に見えます。これらは粒子ではありません。

使われたレジスト(日本ゼオンのZEP-520)は試した事はありませんが、Shipley社のmicroposit S1813 フォトレジストを使い、問題無く固定しています。一般にフォトレジストは貴金属には馴染まないようです。SiO2が出来るのでHMDSの様な接着用ポリマーの使用をお勧めします。

フォトレジストは親水性疎水性表面に非常に敏感です。金の膜を空気に触れさせると，カーボン系の不純物が存在すると、その濃度にも因りますが、数分から１時間程度で数層の分子膜が形成されてしまいます。清浄な表面が必要であればアッシングとか水素炎アニーリングを行ってください。