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金の厚さ制御の精度はどれほどでしょうか？

Bionano金の厚さ計測には、X線の反射率測定を行います。 反射率測定は、試料に対してすれすれの入射角でX線を照射するロー・アングル・モードで行ないます。この角度では、ビームは膜面及び膜と基板の境界面の両方で反射され、反射強度の共振によって識別可能な干渉縞を作ります。この発振期間は薄膜が結晶しているかどうかは関係なく、薄膜の厚みと屈折率の差のみにより決まります。屈折率は一定なので、薄膜の厚さのみが発振期間を変える変数となります。 この方法によると膜厚制御の精度は±0.2nmとなります。 現在のBio・Nanoの金の厚みのばらつきは0,5nm以内となっています。

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