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Phasis社でのAUの(111)面 の確認方法は? | ||||
Phasis社ではAU(111)/雲母製品の表面が実際に(111)面を有しているかをX線分析で確認しています。 下のグラフをご覧下さい。 これは厚み70nmの代表的な金試料に対して行われたもので、θ-2θX線分析(Cu Kα放射、λ=1.5406Å)を使い計測したものです。ここでは2.36Åのc-軸格子定数を有する純粋な(111)成長を示しています。 (111)反射の周りのこれらの振動の発生は、試料の高度の結晶性を示し、同時に膜の厚さを正確に制御出来る事を意味しています。 |
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